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第一一一八章浸没式光刻系统遇到难题（1/1）

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800nm制程工艺的专利技术对于gca来说如同鸡肋，但对于bsec如同神助，掌握后就能跨越1um制程工艺，掌握800nm制程工艺技术。

拥有了193nm的arfi准分子激光器的制造技术和800nm制程工艺的专利技术，但bsec还不能生产自主知识产权的1um制程工艺的光刻机。

为了将来不被

《我的一九八五》第一一一八章浸没式光刻系统遇到难题

《我的一九八五》

第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题（1/1）